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ALICAT 截止閥質(zhì)量流量控制器 21VS系列

型 號(hào)

所屬分類控制器

報(bào)價(jià)

更新時(shí)間2024-11-20

產(chǎn)品描述:ALICAT 截止閥質(zhì)量流量控制器 21VS系列采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。

產(chǎn)品概述

品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域化工,綜合

美國ALICAT 21VS系列帶截止閥抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的21VS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力,并顯示氣體溫度。此外,21VS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器是專為需要緊密關(guān)閉應(yīng)用而設(shè)計(jì)的,如真空鍍膜和濺射過程等。該集成氣動(dòng)切斷閥是常閉的,并且在閉合狀態(tài)下其最大氦氣泄漏率僅為1x10 atm scc/s。

ALICAT 截止閥質(zhì)量流量控制器 21VS系列應(yīng)用及案例


● 大學(xué)/研究所

● 環(huán)境監(jiān)測

● 真空行業(yè)及鍍膜

● 工業(yè)爐窯

● 汽車制造

● 計(jì)量校準(zhǔn)

● 過程工藝氣體測量

ALICAT 截止閥質(zhì)量流量控制器 21VS系列產(chǎn)品特色


● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 帶氣動(dòng)截止閥,泄漏率低

● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等

● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力

● 可選高精度    優(yōu)于0.5%

● 高量程比 100:1

● 響應(yīng)時(shí)間快 僅需100 ms(可調(diào))

● 內(nèi)置128種常規(guī)以及腐蝕性氣體

● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體(最多5種成分),并存儲(chǔ)20種混合氣

● 可適用于諸多腐蝕性氣體


技術(shù)指標(biāo)


介質(zhì)要求    潔凈、干燥的氣體,腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類    內(nèi)置了128種氣體,請參考“產(chǎn)品資料下載"中氣體兼容表一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇

量       程    從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM

量 程  比    100:1

最大顯示流量:102.4%FS

顯 示  屏    帶按鍵,標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-滿量程

                   高 精  度    ±(0.4%RD + 0.2%FS),選配

                   僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

閥門泄漏率    不超過1x10 atm scc/sec (He)

重 復(fù)  性    ± 0.2% FS

零點(diǎn)漂移&滿量程漂移    0.02% FS / ℃ / Atm

響應(yīng)時(shí)間    100ms 預(yù)熱時(shí)間:<1s

標(biāo)定工況    25℃  & 100kPa 絕壓

                  20℃  & 100kPa 絕壓

                  0  ℃  & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)

工作溫度    -10 ~ +50 ?C

工作濕度    0-100%,無冷凝

標(biāo)準(zhǔn)最大工作壓力    1MPa 表壓

標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓    1.2MPa 表壓

中壓選項(xiàng)    2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號(hào):RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模擬輸入/輸出信號(hào):0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出:質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度

供電電壓    7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc)

供電電流    250mA ~ 750mA

電氣接口    8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭

材       質(zhì)    316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

安裝方式    對位置無要求

防護(hù)等級(jí)    IP40

* 如選Profibus,則無模擬信號(hào),無顯示,其供電電壓及供電電流需咨詢我們

氣體編碼


ALICAT 截止閥質(zhì)量流量控制器 21VS系列

混合氣體編碼為“800",選項(xiàng)中須有具體混合氣體比例說明。

對于液體流量計(jì)和控制器,液體指純水,液體編碼為“900"。

* ALICAT非抗腐蝕流量計(jì)/控制器產(chǎn)品,可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品,可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計(jì)產(chǎn)品,可支持①、②、③類氣體。

未在表中列出的氣體,也可能被測控,具體請咨詢我們。


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