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KLA iNano 納米壓痕儀

型 號(hào)

所屬分類(lèi)實(shí)驗(yàn)室儀器

報(bào)價(jià)

更新時(shí)間2024-11-01

產(chǎn)品描述:KLA iNano 納米壓痕儀:iNano為壓痕、硬度、劃痕測(cè)試和多元化納米級(jí)測(cè)試等納米級(jí)力學(xué)測(cè)試設(shè)計(jì)。iNano能夠測(cè)試包括軟質(zhì)高聚物到硬質(zhì)涂層和薄膜等在內(nèi)的各種材料。

產(chǎn)品概述

品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)地類(lèi)別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域化工,綜合

KLA iNano 納米壓痕儀靈活易用的力學(xué)測(cè)試可廣泛用于各種材料和應(yīng)用

iNano為壓痕、硬度、劃痕測(cè)試和多元化納米級(jí)測(cè)試等納米級(jí)力學(xué)測(cè)試設(shè)計(jì)。iNano能夠測(cè)試包括軟質(zhì)高聚物到硬質(zhì)涂層和薄膜等在內(nèi)的各種材料。模塊化系統(tǒng)選項(xiàng)可以完成各種不同應(yīng)用:特定頻率測(cè)試、定量劃痕和磨損測(cè)試、集成探針成像、高溫測(cè)試和自定義方法編程等。


除了能夠推進(jìn)高??蒲兄猓琲Nano還可以為以下材料和行業(yè)進(jìn)行納米壓痕測(cè)試和抗蠕變性測(cè)量:


生產(chǎn)質(zhì)量控制
金屬和合金
醫(yī)藥器械
涂料和油漆
半導(dǎo)體
高聚物與塑料
MEMS/納米級(jí)器件
電池和儲(chǔ)能材料
陶瓷與玻璃

KLA iNano 納米壓痕儀主要功能

  • 模塊化設(shè)計(jì), 可提供大通量的自動(dòng)化測(cè)試功能,并配有統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)分析包,適用于納米力學(xué)性能測(cè)量、掃描探針顯微成像、高溫測(cè)量和IV電壓電流特性測(cè)試實(shí)時(shí)的實(shí)驗(yàn)控制,簡(jiǎn)單易用的測(cè)試流程開(kāi)發(fā)和測(cè)試參數(shù)設(shè)置

  • 標(biāo)準(zhǔn)的InForce 50電磁驅(qū)動(dòng)器

  • 集成高速控制器電子設(shè)備完成告訴數(shù)據(jù)采集高達(dá)100kHz,捕獲材料瞬間的響應(yīng),例如鋸齒流變和斷裂現(xiàn)象。

  • 集成了噪音隔離功能的剛度框架,可確保對(duì)各種材料進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量

  • 數(shù)碼變焦的高分辨光學(xué)顯微鏡,精確定位樣本

  • 納米壓痕老師在線講授專(zhuān)業(yè)納米壓痕課程,以及移動(dòng)應(yīng)用程序能夠提供測(cè)試方法的實(shí)時(shí)更新



功能與選項(xiàng)概覽


KLA iNano 納米壓痕儀


KLA 核心技術(shù)

iNano 采用電磁驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)換器提供動(dòng)力,電磁驅(qū)動(dòng)加載模塊技術(shù)因其優(yōu)勢(shì)被廣泛的應(yīng)用在KLA的壓痕設(shè)備中,輕松實(shí)現(xiàn)載荷和位移的寬動(dòng)態(tài)范圍的控制,提供納米級(jí)的力學(xué)測(cè)試功能, 實(shí)現(xiàn)高精度觀察與定位測(cè)試樣本,以及樣品高度的簡(jiǎn)易調(diào)節(jié)。在其標(biāo)準(zhǔn)配置中,iNano采用了InForce 50驅(qū)動(dòng)器,并提供模塊化控制器以便用戶(hù)按需要增加功能。iNano設(shè)備提供掃描探針成像功能、劃痕及磨損測(cè)試功能、高溫納米力學(xué)測(cè)試功能、連續(xù)剛度測(cè)試(CSM) 和高速3D及4D力學(xué)圖譜等模塊化升級(jí)選件。

iNano 采用的InView測(cè)試控制和數(shù)據(jù)采集軟件,包含用于簡(jiǎn)化測(cè)試設(shè)置的帶屏幕控制的InviewRunTest,可在測(cè)試期間或之后進(jìn)行數(shù)據(jù)分析的 InView ReviewData,和生成各種綜合性測(cè)試報(bào)告的 InFocus 軟件。


連續(xù)剛度測(cè)量(CSM)

  • 壓入循環(huán)期間測(cè)量剛度和其他材料特性

KLA的連續(xù)剛度測(cè)量技術(shù)能夠輕松評(píng)估材料在應(yīng)變速率或蠕變效應(yīng)影響下的動(dòng)態(tài)力學(xué)性能。CSM技術(shù)在壓入過(guò)程中保持探針以納米級(jí)的振幅持續(xù)振動(dòng),從而獲得硬度、模量等力學(xué)性能隨深度、載荷、時(shí)間或頻率的變化而變化的特性。該選項(xiàng)提供常用的恒應(yīng)變速率測(cè)試方法,用以測(cè)量隨深度或載荷變化的硬度和模量。CSM還可用于其他測(cè)量選項(xiàng),其中包括用于存儲(chǔ)和損耗模量測(cè)量的ProbeDMA方法以及AccuFilm消除基底效應(yīng)的薄測(cè)量等。連續(xù)剛度測(cè)量技術(shù)在InQuest控制器和InView軟件中集成,可以方便使用并保證數(shù)據(jù)的可靠性。

KLA iNano 納米壓痕儀

                使用 CSM 選項(xiàng)測(cè)量隨壓入深度而變化的彈性模量

AccuFilm薄膜方法

  • 通過(guò)校正襯底對(duì)測(cè)量的影響對(duì)超薄膜進(jìn)行表征

基于連續(xù)剛度測(cè)量技術(shù)(CSM)并結(jié)合Hay-Crawford模型的新一代AccuFilm薄膜測(cè)試選件可測(cè)量附著于襯底的膜層材料,使用AccuFilm超薄膜方法是基于KLA的超薄膜的測(cè)試技術(shù),實(shí)驗(yàn)設(shè)置操作簡(jiǎn)單,對(duì)于軟襯底上的硬質(zhì)膜以及硬襯底上的軟質(zhì)膜,AccuFilm都可以校正襯底在膜測(cè)量中所帶來(lái)的影響。

KLA iNano 納米壓痕儀

使用 AccuFiLm 薄膜法,基底影響模量和純薄膜模量作為歸一化壓痕深度的函數(shù)

NanoBlitz 3D 快速力學(xué)性能分布

  • 快速定量地測(cè)量表面力學(xué)性能分布

  • 測(cè)量粗糙表面和/或異質(zhì)材料

  • 通過(guò)增加觀察次數(shù)給出具有統(tǒng)計(jì)意義的結(jié)果

NanoBlitz 3D 采用快速納米壓痕測(cè)試技術(shù),實(shí)現(xiàn)每個(gè)壓痕測(cè)試時(shí)間小于1秒。單次試驗(yàn)壓痕個(gè)數(shù)可達(dá)100000個(gè)(300X300矩陣),可在用戶(hù)的恒定加載力下,提供材料彈性模量,硬度和接觸剛度的三維圖譜??焖偾掖罅康臏y(cè)試點(diǎn)提高了統(tǒng)計(jì)的準(zhǔn)確性,同時(shí)可以直接對(duì)不同相或不同特性區(qū)域進(jìn)行力學(xué)均值、分布和面積占比的統(tǒng)計(jì)。NanoBlitz 3D功能為用戶(hù)提供數(shù)據(jù)可視化和強(qiáng)大的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)分析處理功能。

KLA iNano 納米壓痕儀

使用 NanoBlitz 3D 選項(xiàng)繪制 WC-CO 復(fù)合材料的硬度分布圖和統(tǒng)計(jì)直方圖

NanoBlitz4D 力學(xué)性能斷層掃描

  • 基于連續(xù)剛度測(cè)量(CSM) 技術(shù)的力學(xué)性能斷層掃描

NanoBlitz 4D力學(xué)譜圖利用InForce 50或InForce 1000驅(qū)動(dòng)器和Berkovich壓頭為低E/H值和高模量(> 3GPa) 材料生成納米力學(xué)性質(zhì)的4D圖。NanoBlitz4D以每個(gè)壓痕5秒的速度完成多達(dá)10,000個(gè)壓痕(30×30陣列),并為陣列中的每個(gè)壓痕測(cè)量隨深度而變化的楊氏模量(E)、硬度(H)和剛度(S)數(shù)值。NanoBlitz 4D采用恒應(yīng)變速率方法,為用戶(hù)提供數(shù)據(jù)可視化和強(qiáng)大的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)分析處理功能。

KLA iNano 納米壓痕儀

使用 NanoBlitz 4D 選項(xiàng)針對(duì)多層薄膜繪制兩個(gè)不同壓入深度的彈性和塑性分布圖

ProbeDMA高聚物測(cè)試

聚合物測(cè)試包中配置了圓底平頭探針、粘彈性測(cè)試標(biāo)樣和粘彈特性的測(cè)試方法,該測(cè)試選件基于連續(xù)剛度測(cè)量技術(shù),可在不同頻率條件下對(duì)材料進(jìn)行高效可靠測(cè)量,得到儲(chǔ)存模量和損耗模量與頻率的變化關(guān)系。該測(cè)量技術(shù)對(duì)納米量級(jí)的聚合物及聚合物薄膜的力學(xué)表征很重要。

KLA iNano 納米壓痕儀

使用圓底平頭探針測(cè)試一系列標(biāo)準(zhǔn)高聚物樣品的儲(chǔ)能模量

劃痕和磨損測(cè)試方法

  • 壓頭通過(guò)樣品表面時(shí)對(duì)其施加恒定或漸增的載荷

iNano系統(tǒng)可以對(duì)多種材料進(jìn)行劃痕和磨損測(cè)試。在涂層和薄膜經(jīng)過(guò)化學(xué)機(jī)械拋光(CMP) 和引線鍵合等的多種工藝處理的時(shí)候,其強(qiáng)度及其對(duì)基材的附著力會(huì)備受考驗(yàn)。在加工工藝中,材料是否能抵抗塑性變形并保持完整而不從襯底上起泡非常重要。理想情況下,介電材料具有高硬度和高彈性模量,因?yàn)檫@些參數(shù)有助于了解材料在制造工藝中的性能變化。

KLA iNano 納米壓痕儀

劃痕測(cè)試的定量分析


300°C 樣品加熱

  • 允許將樣品放入一個(gè)腔室中,以便在測(cè)試期間對(duì)其均勻加熱

300°C 的樣品加熱選項(xiàng)允許將樣品放置在一個(gè)腔室內(nèi)進(jìn)行均勻加熱,同時(shí)接受測(cè)試。

KLA iNano 納米壓痕儀

iNano 樣品加熱選項(xiàng)用于表征高溫下的機(jī)械性能。


該測(cè)試方法可以測(cè)量并輸出楊氏模量、儀表硬度、維氏硬度和歸一化壓痕功。

KLA iNano 納米壓痕儀

在一系列標(biāo)準(zhǔn)樣品上所測(cè)得的硬度值




iNano 的其他升級(jí)選項(xiàng)


遠(yuǎn)程視頻觀看 :  遠(yuǎn)程視頻選項(xiàng)包括已安裝的網(wǎng)絡(luò)攝像頭,便于在測(cè)試之前和期間查看樣品。兩個(gè)觀察角度分布為樣品設(shè)置視圖和原位測(cè)試視圖,可分別觀察樣品和納米壓頭。


DataBurst 模式 :  DataBurst 模式在高達(dá) 100kHz 的速度下觸發(fā)超級(jí)數(shù)據(jù)采集,捕獲材料瞬間響應(yīng),例如鋸齒流變和斷裂現(xiàn)象;允許在真正的步進(jìn)荷載下測(cè)量高應(yīng)變率材料的力學(xué)性能;儀器幫助客戶(hù)精準(zhǔn)捕捉材料瞬間的真實(shí)響應(yīng)。


InView 開(kāi)放式軟件編寫(xiě)平臺(tái) :  InView 采用開(kāi)放式軟件編寫(xiě)平臺(tái),以幫助客戶(hù)在測(cè)試過(guò)程中實(shí)現(xiàn)加載,測(cè)量和計(jì)算的控制。用于設(shè)計(jì)新穎或復(fù)雜的實(shí)驗(yàn)。開(kāi)放式軟件編寫(xiě)平臺(tái)給予客戶(hù)靈活性:幫助客戶(hù)輕易采集原始測(cè)試數(shù)據(jù)到和分析結(jié)果的全面使用;客戶(hù)可以瀏覽,編輯計(jì)算公式,自定義參數(shù),實(shí)現(xiàn)個(gè)性化試驗(yàn)設(shè)計(jì);用戶(hù)可以自由設(shè)計(jì)和改變?cè)囼?yàn)參數(shù)和試驗(yàn)過(guò)程,為探索新的試驗(yàn)測(cè)試提供可能。


TrueTestI-V 電學(xué)測(cè)試 :  True Test I-V 選項(xiàng)允許用戶(hù)向樣品施加特定電壓并測(cè)量壓頭的電流,以表征納米力學(xué)測(cè)量過(guò)程中電學(xué)特性的局部變化。

帶有模塊化機(jī)架的主動(dòng)振動(dòng)隔離:在 iNano 的內(nèi)置被動(dòng)隔振的基礎(chǔ)上增加主動(dòng)隔振,為超薄薄膜上高難度的納米力學(xué)測(cè)量提供了穩(wěn)定性和精確度。主動(dòng)隔振系統(tǒng)減少了所有六個(gè)自由度的振動(dòng),無(wú)需進(jìn)行調(diào)整。


生物軟材料測(cè)試選項(xiàng)臺(tái) :  生物材料測(cè)試方法利用連續(xù)剛度測(cè)試 CSM 表征模量在 1kPa 左右的生物軟材料;包含一個(gè)平底壓頭和測(cè)量軟材料儲(chǔ)存損耗模量的測(cè)試方法。


壓頭探針和校準(zhǔn)樣品 :  InForce 50、InForce 1000 和 Gemini 驅(qū)動(dòng)器的可互換壓頭包括 Berkovich、立體角、維氏,以及平底和球體壓頭。


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