臺階儀
產(chǎn)品概述
品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,綜合 |
P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能,適用于生產(chǎn)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。 P-170的圖案識別算法、增強(qiáng)的光學(xué)系統(tǒng)和先進(jìn)的平臺,這保證了性能的穩(wěn)定和系統(tǒng)間配方的無縫移植- 這是24x7生產(chǎn)環(huán)境的關(guān)鍵要求。
產(chǎn)品描述
P-170臺階儀是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的HRP-260的機(jī)械傳送臂相結(jié)合。 這樣的組合為機(jī)械傳送臂系統(tǒng)適用于半導(dǎo)體,化合物半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)。 P-170可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。
該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備出色的測量穩(wěn)定性。通過點(diǎn)擊式平臺控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的分辨率相機(jī)等功能,程序設(shè)置簡便快速。P-170具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法,可以支持2D或3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實(shí)現(xiàn)全自動測量。
臺階儀主要功能
臺階高度:幾納米至1000μm
微力恒力控制:0.03至50mg
樣品全直徑掃描,無需圖像拼接
視頻:500萬像素分辨率彩色攝像機(jī)
圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動引起的誤差
軟件:簡單易用的軟件界面
生產(chǎn)能力:通過測序、圖案識別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動化
晶圓機(jī)械傳送臂:自動加載75mm至200mm不透明(例如硅)和透明(例如藍(lán)寶石)樣品
主要應(yīng)用
臺階高度:2D和3D臺階高度
紋理:2D和3D粗糙度和波紋度
形狀:2D和3D翹曲和形狀
應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力
缺陷復(fù)檢:2D和3D缺陷表面形貌
工業(yè)應(yīng)用
半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體
LED:發(fā)光二極管
MEMS:微機(jī)電系統(tǒng)
數(shù)據(jù)存儲
汽車
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