久久精品99久久无色中文,国产97人人乐人人爱,国产a∨精品一区二区三区,精品国产成人一区二区99

當(dāng)前位置:首頁   >    產(chǎn)品中心   >       >    實(shí)驗(yàn)室儀器   >   微米級(jí)橫向定位精度自動(dòng)化薄膜厚度測(cè)繪系統(tǒng) 產(chǎn)品展示

微米級(jí)橫向定位精度自動(dòng)化薄膜厚度測(cè)繪系統(tǒng)

型 號(hào)

所屬分類實(shí)驗(yàn)室儀器

報(bào)價(jià)

更新時(shí)間2024-09-23

產(chǎn)品描述:微米級(jí)橫向定位精度自動(dòng)化薄膜厚度測(cè)繪系統(tǒng)集成了先進(jìn)的光學(xué)、電子和機(jī)械模塊,可兼用于對(duì)無圖形和圖形薄膜(例如微圖形表面、粗糙表面)進(jìn)行精確測(cè)量 )。

產(chǎn)品概述

品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,綜合

微米級(jí)橫向定位精度自動(dòng)化薄膜厚度測(cè)繪系統(tǒng)         

FR-Scanner-AIO-Mic-XY200: 微米級(jí)橫向定位精度自動(dòng)化薄膜厚度測(cè)繪系統(tǒng)    

微米級(jí)橫向定位精度自動(dòng)化薄膜厚度測(cè)繪系統(tǒng)     

FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY200模塊化厚度測(cè)繪系統(tǒng)集成了先進(jìn)的光學(xué)、電子和機(jī)械模塊,可兼用于對(duì)無圖形和圖形薄膜(例如微圖形表面、粗糙表面)進(jìn)行精確測(cè)量 )。    

將晶圓放置在配備反射率標(biāo)準(zhǔn)件真空吸盤上(晶圓尺寸直徑≤200mm), 由功能強(qiáng)大的光學(xué)模塊執(zhí)行測(cè)量,光斑尺寸可縮小至幾微米。電動(dòng)平臺(tái)提供XY方向 200 毫米的行程,在速度、精度和可重復(fù)性方面具有的性能.    

     

FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY200提供了:    

     

o       實(shí)時(shí)反射率光譜測(cè)量    

o       薄膜厚度、光學(xué)參數(shù)、非均勻性測(cè)量、厚度測(cè)繪    

o       使用集成的、USB 連接的高質(zhì)量彩色相機(jī)進(jìn)行成像    

o       多種量測(cè)參數(shù)廣泛統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)    

o       半自動(dòng)圖案對(duì)準(zhǔn)功能用于測(cè)量周期性圖形區(qū)域    

o       軟件功能,例如:"Click2Move “(螢?zāi)稽c(diǎn)擊定位量測(cè)點(diǎn))、比例尺    

 


型號(hào)                                                            

光譜范圍(納米)                                                

光譜儀                                                

光譜儀像素                                                

                                                 

                                                 

                                                 

厚度范圍 (SiO2)                                                

5X- VIS/NIR                                                

10X-VIS/NIR                                                

10X-UV/NIR*                                                

15X- UV/NIR *                                                

20X- VIS/NIR                                                

20X- UV/NIR *                                                

40X- UV/NIR *                                                

50X- VIS/NIR                                                

可分析n & k最小厚度                                                

厚度準(zhǔn)確性(精度)**                                                 

光源                                                

顯微鏡模塊                                                

 平臺(tái)分辨率                                                 

絕對(duì)精度                                                

晶圓尺寸                                                

參考/暗區(qū)                                                

掃描速度                                                

                             

微米級(jí)橫向定位精度自動(dòng)化薄膜厚度測(cè)繪系統(tǒng)規(guī)格pecifications*    

     

     

UV/VIS    

200 – 850    

     

     

     

UV/NIR-HR        D UV/NIR        VIS/NIR    

190-1100        200 – 1700        380 –1020    

CCD image sensor    

     

     

     

NIR    

900 – 1700    

     

     

3648                        

3648                        

2048                        

3648 & 512                        

3648                        

3648 & 512                        

512                        

3648                        

4nm – 60μm                        

4nm – 70μm                        

4nm – 80μm                        

4nm – 150μm                        

10nm – 90μm                        

15nm–150μm                        

100nm-150μm                        

4um – 1mm                        

4nm – 50μm                        

4nm – 60μm                        

4nm – 65μm                        

4nm – 130μm                        

10nm – 80μm                        

15nm–130μm                        

100nm–130μm                        

                       

4nm – 40μm                        

4nm – 50μm                        

4nm – 50μm                        

4nm – 120μm                        

                       

                       

100nm-100μm                        

                       

4nm – 25μm                        

4nm – 30μm                        

4nm – 30μm                        

4nm – 50μm                        

10nm – 50μm                        

15nm – 60μm                        

100nm – 60μm                        

                       

4nm – 4μm                        

4nm – 4μm                        

4nm – 5μm                        

4nm – 6μm                        

                       

                       

                       

                       

                       

                       

                       

                       

10nm – 7μm                        

15nm – 8μm                        

100nm – 8μm                        

                       

50nm                        

50nm                        

50nm                        

50nm                        

100nm                        

100nm                        

500nm                        

                       

     

     

     

     

     

選項(xiàng)    

材料在折射率存在一定差異時(shí)可同時(shí)測(cè)量 4 層 (依樣本狀況而異)    

0.2% or 1nm        0.2% or 2nm        3nm or 0.3%    

Deuterium & Halogen (internal), 2000h (MTBF)                Halogen 12V/50W (internal)    

配備 2MP/5MP 彩色圖像傳感器的顯微鏡柱,具有寬闊的觀察區(qū)    

優(yōu)于0.5μm    

±3μm    

2 / 3 / 4  / 6 英寸(150 毫米 ) /8 英寸(200 毫米)或最大 200 毫米的任何形狀(不包括參考/暗區(qū)模塊)                                    集成在卡盤上    

                                      49 點(diǎn)測(cè)量/90 秒(8 寸晶圓)    

     

FR-AutoFocus        100mm 長線性軸,用于自動(dòng)對(duì)焦,具有兩種操作模式:圖像對(duì)焦(對(duì)比度)/ 反射強(qiáng)度                        

FR-FilterWheel        電動(dòng)濾光輪模塊帶有可容納 8個(gè)濾光片的插槽由計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制: 濾光片尺寸:直徑0.5英寸,直徑 1 英寸(孔徑 23 毫米)                        

FR-AutoTurret        自動(dòng)轉(zhuǎn)塔由計(jì)算機(jī)控制可容納 4 個(gè)物鏡:鏡頭切換速度約為 2.0-3.0 秒                        

Lenses        長工作距離 VIS/NIR 鏡頭: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X                        

反射式 UV/NIR 鏡頭: 10X, 15X, 25X, 40X                        

Pump        低噪音真空泵,2.5L/min,真空度-60kPa.                        

Chucks        a) 單直徑晶圓卡盤(4 英寸、6 英寸、200 毫米) b) 帶參考區(qū)域的光掩模卡盤(6 英寸) c) 包括參考區(qū)域和暗區(qū),用于自動(dòng)基準(zhǔn)的多晶圓卡盤(100 毫米、150 毫米、200 毫米和不規(guī)則形狀樣本)                        

Enclosure        外殼帶有聯(lián)鎖裝置,可在裝載晶圓的門打開時(shí)激活快門                        

規(guī)格如有變更,恕不另行通知. 通過定制可以實(shí)現(xiàn)真正的 X-Y 掃描 ** 與校正過的光譜橢偏儀和x射線衍射儀的測(cè)量結(jié)果匹配,*超過15天平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差平均值,樣品:硅晶片上1微米SiO2,*標(biāo)準(zhǔn)偏差100次厚度測(cè)量結(jié)果,樣品:硅晶片上1微米SiO2, * 15天內(nèi)每日平均值的2*標(biāo)準(zhǔn)差。樣品:硅片上1微米SiO2. *** 還可根據(jù)要求提供適用于 450mm 及雙面拋光硅晶圓的平臺(tái)..    

     

     

測(cè)量區(qū)域光斑(收集反射信號(hào)的區(qū)域)與物鏡和孔徑大小有關(guān),  標(biāo)準(zhǔn)孔徑尺寸為:500μm(方形)、250μm(方形)、100μm(方形).250μm為默認(rèn)孔徑值.可根據(jù)要求提供的其他孔徑尺寸:150μm(方形)和 50μm(方形)    

     

物鏡        光斑尺寸                        

Magnification                        

工作距離(mm)                        

500                        

μm孔徑                        

250                        

孔徑(默認(rèn))                        

150                        

μm 孔徑                        

100                        

μm孔徑                        

5x                        

45                        

100 μm                        

50 μm                        

30 μm                        

20 μm                        

10x                        

34                        

50 μm                        

25 μm                        

15 μm                        

10 μm                        

        20x                                

31                        

25 μm                        

14 μm                        

8 μm                        

5 μm                        

50x                        

20                        

10 μm                        

5 μm                        

3 μm                        

2 μm                        

     

電源要求                                                    

尺寸/寬x深x高                                                    

重量材料數(shù)據(jù)庫                                                    

材料數(shù)據(jù)庫                                                    

軟件特性                            

單相96-230V, 5A@100V, 2A@220V 700 x 540 x 700 mm (寬x深x高)    

~50公斤(Depends on the actual configuration)    

> 800 種不同的材料    

FR-Monitor v4.0 (免費(fèi)更新) 完整詳細(xì)信息請(qǐng)參見相關(guān)目錄頁面    

     

微米級(jí)橫向定位精度自動(dòng)化薄膜厚度測(cè)繪系統(tǒng)微米級(jí)橫向定位精度自動(dòng)化薄膜厚度測(cè)繪系統(tǒng)     

二維厚度分布圖        3D厚度分布圖    

For further information, please contact us at  or m                            

ThetaMetrisis S.A. © 2024                             

     

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
QQ在線客服
電話咨詢
  • 4006981718
  • 18600536779
温泉县| 东乌| 永兴县| 吴旗县| 桦甸市| 两当县| 虹口区| 平乡县| 新疆| 胶南市| 理塘县| 太湖县| 宽甸| 宁国市| 讷河市| 万盛区| 宜良县| 怀远县| 新沂市| 河池市| 利津县| 密山市| 化州市| 渭南市| 革吉县| 宁河县| 大英县| 辽阳市| 叙永县| 体育| 万源市| 左贡县| 新疆| 松桃| 邵阳县| 陆丰市| 青浦区| 鹤壁市| 杨浦区| 舟曲县| 普洱|