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精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng)

型 號FR-ES

所屬分類實(shí)驗(yàn)室儀器

報(bào)價(jià)

更新時(shí)間2024-09-23

產(chǎn)品描述:精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng):FR-ES 機(jī)型設(shè)計(jì)在以較小的占地面積提供涂層表征性能。它廣泛應(yīng)用于各種不同的測量應(yīng)用:薄膜厚度、折射率、顏色、透射率、反射率等等。

產(chǎn)品概述

品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,綜合

精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng) 

FR-ES:        精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng)

 

精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng) 

FR-ES 機(jī)型設(shè)計(jì)在以較小的占地面積提供涂層表征性能。它廣泛應(yīng)用于各種不同的測量應(yīng)用:薄膜厚度、折射率、顏色、透射率、反射率等等。有下列波長范圍 FR-ES 配置可用:

VIS/NIR (380-1020nm), UV/NIR (200-850nm), UV/NIR-EXT (200-1000nm), UV/NIR-HR (190-1100nm) NIR-N1 (850-1050nm),

NIR (900-1700nm).

D VIS/NIR (380-1700nm)

 

        依照不同樣品形狀尺寸還有各種各樣的配件,例如

§       濾光片可阻擋某些光譜范圍內(nèi)的光

§       FR-Mic 提供微米級別區(qū)域進(jìn)行測量

§       手動載物臺,  100x100mm或 200x200mm

§       薄膜/比色皿支架用于吸光度/透射率和化學(xué)濃度測量的薄膜/比色皿支架

§       積分球用于漫反射和全反射反射率測量

 

 

 FR-ES 規(guī)格(標(biāo)準(zhǔn)配置*

精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng)配件 

精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng) 

聚焦模塊

安裝在反射探頭上的光學(xué)模塊,用于直徑 <100μm 的光斑尺寸

透射率模塊

用于透射率/吸光度測量的光學(xué)模塊

膜厚/比色皿套件

標(biāo)準(zhǔn)比色皿中的薄膜或液體進(jìn)行透射測量

接觸探頭

曲面樣品的反射率和厚度測量

顯微鏡

具有高橫向分辨率的基于顯微鏡的反射率和厚度測量

手動X-Y平臺

手動 X-Y 平臺,用于測量 25x25mm /100x100mm / 200x200mm 區(qū)域

精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng)精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng)* 規(guī)格如有變更,恕不另行通知; ** 厚度范圍取決于光譜范圍,是指硅基板上折射率約為 1.5 的單層薄膜  ** 與校準(zhǔn)的光譜橢偏儀和 XRD 進(jìn)行比較的測量結(jié)果,15 天內(nèi)平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差的平均值。樣品:Si  1μm SiO2,100 次厚度測量的標(biāo)準(zhǔn)偏差。樣品:Si  1μm SiO2,2*15 天內(nèi)日平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差。

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